Axio Imager Vario pour échantillons de grande taille
Examinez des échantillons de grande taille – de manière automatisée et compatible salle blanche
Analysez les capteurs MEMS les plus petits jusqu’aux wafers XXL ou même des écrans plats complets sans les détruire.
Avec une hauteur d’échantillon pouvant atteindre 254 mm et un espace latéral maximum de 300 mm, Axio Imager Vario vous permet d’examiner la gamme d’échantillons la plus étendue.
La conception de la colonne garantit une excellente stabilité.
Prenez le contrôle de vos wafers en salle blanche – Axio Imager Vario est certifié selon DIN EN ISO 14644-1
et satisfait aux exigences de Classe 5.
Un entraînement Z motorisé en complément de la mise au point automatique
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